流體控制
流體控制是利用流體的各種控制元件(各種泵、閥門(mén)、油缸)及液壓系統附件(過(guò)濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等),組成控制閉式回路,以進(jìn)行自動(dòng)控制。
氣動(dòng)控制,動(dòng)作迅速、方便,使用的元件和工作介質(zhì)成本低,便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝,已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展,成為熱點(diǎn)之一。
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體積流量的表示方法
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
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質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。
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